推動(dòng)各種氣體在顯示屏應用的主要因素

推動(dòng)顯示屏制造中使用氣體的主要因素包括PECVD（等離子體增強化學(xué)氣相沉積），占ESG消耗的75％，而干法蝕刻則推動(dòng)了氦氣的使用。LTPS和MO晶體管的生產(chǎn)推動(dòng)了氧化亞氮的使用。ESG在MO晶體管生產(chǎn)中的使用情況與圖4所示不同：氧化亞氮占氣體消耗的63％，三氟化氮占26％，硅烷占7％，六氟化硫和氨一共約占4％。激光氣體不僅用于光刻，也用于LTPS中準分子激光退火應用。

硅烷：SiH4是顯示屏制造中關(guān)鍵的氣體之一，與氨氣（NH3）結合使用，形成用于a-Si晶體管的氮化硅層，與氮氣（N2）結合使用，形成用于LTPS晶體管的預準分子激光退火a-Si，或與氧化亞氮（N2O）結合使用形成MO晶體管的氧化硅層。

三氟化氮：從a-Si和LTPS顯示屏生產(chǎn)中的消耗和使用量來(lái)看，NF3是a-Si和LTPS顯示屏生產(chǎn)中使用多的單種電子材料，而在MO生產(chǎn)中，其使用量不如N2O。NF3用于清潔PECVD腔室。對于這種氣體，需要具備可擴展性，才能在競爭激烈的市場(chǎng)中建立所需的成本優(yōu)勢。

氧化亞氮：LTPS和MO顯示屏生產(chǎn)中均使用，從MO生產(chǎn)中的消耗和使用量來(lái)看，N2O已超過(guò)NF3成為MO生產(chǎn)中用量多的電子材料。N2O是一種區域性、本地化的產(chǎn)品，由于其成本低，無(wú)法采用物流成本高昂的長(cháng)供應鏈。平均每5.5平方米素玻璃重約2公斤，每月一般需要240噸N2O才能生產(chǎn)120K的8.5 MO顯示屏。N2O壓縮氣體拖車(chē)每次只能提供6噸N2O，對于MO生產(chǎn)來(lái)說(shuō)，這種做法成本高，風(fēng)險大。

氮氣：一般的大型顯示屏廠(chǎng)氮氣需求可高達50,000 Nm3/小時(shí)，因此現場(chǎng)發(fā)生器（如林德 SPECTRA-N?50,000）是一種具有成本效益的解決方案，與傳統的氮氣工廠(chǎng)相比，顯示屏制造中的CO2（二氧化碳）排放減少8％。

氦氣：氦氣用于流程中和流程后冷卻玻璃。由于氦氣是一種不再生氣體，鑒于其成本和可得性，制造商正在研究減少氦氣的使用。